研究了调制磁场对于非平衡磁控溅射系统的作用,调制磁场可以使非平衡磁控溅射形成具有较高等离子体密度的等离子体束流,延伸到靶前 110 m m以上。在靶前 6 0～110 mm的位置上,收集电流密度高达9～10 m A/ cm2 ,收集的电流密度比常规的磁控溅射方法高9倍以上,在调制磁场作用下磁控溅...

　　设计和制造了适合工业应用的强流金属离子源。离子源的电弧阴、阳电极之间和放电室壁采用永磁体阵列形成导流、屏蔽磁场,改进了电弧的放电特性和提高等离子体密度。离子注入源在加速电压为30kV、50Hz条件时,平均束流流强度约为30mA,调试结果表明附加磁场提高了离子源性能。

　　电磁真空带充气阀与电磁真空压差阀是专门用于防止机械真空泵返油的真空阀，安装于机械真空泵的进气口，并与泵同步开启和关闭。一般不能用到其它地方，也就是说不能用于真空系统中作放气之用。选用尼威电磁真空压差阀的优点是耗电量很小，节省能源;DN≤50的阀体材质为铝合金，重量轻，体积小，阀板关闭速度快。

　　真空设备制造产业发展研究报告阐述了世界真空设备制造产业的发展历程，分析了中国真空设备制造产业发展现状与差距，地提出了“新型真空设备制造产业” 及替代品产业概念，在此基础上，从四个维度即“以人为本”、“环境友好”和“面向将来”准确地界定了“新型真空设备制造产业” 及替代产品的内涵。根据“新型真空设...