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发布时间：2017/07/03
1、主要用途：
主要用于电真空器件的排气，提高电真空器件的质量。
2、技术指标：
系统极限真空度：≤5×10-8Pa；可以为双真空结构，也可以为外部烘箱结构，内部抽真空结构，加热温度及均温区尺寸根据用户要求进行设计制造；加热采用多段程序控温，便于用户调整烘烤除气的工艺，控温精度±2℃。
3、系统组成：
真空抽气系统、加热控温系统、烘箱（高加热温度500℃）或者外真空室（高加热温度800℃，根据内部器件耐温情况确定）、真空测量系统、电器控制系统等组成。
