超高真空场发射系统

　　公司的产品以高真空和超高真空应用设备为特色，主要包括各种磁控溅射镀膜系统、蒸发镀膜系统、PLD、超高真空排气台、真空热处理设备、真空钎焊炉、化学气相沉积、等离子体增强气相沉积系统、以及用户特殊定制的设备、各种磁控靶、各种真空阀门及标准件等。